Alanında yazılan ilk kapsamlı tasavvuf terimleri sözlüğü niteliğini taşıyan Istılahâtu's-sufiyye'de 500 kadar tasavvufî terim daha kolay bulunabilsin diye ebced sırasına göre izah edilir. Kâşânî Istılahât'ta kavramları açıklarken büyük ölçüde İbnü'l-Arabî'nin tanımlarından istifade etmiş bu tanımları bazen genişletirken bazen de olduğu gibi aktarmıştır. Her ne kadar amacının sufilerin ıstılahlarının daha anlaşılabilir hâle getirmek olduğunu söylese de söz konusu gayreti bazı kavramların tam olarak anlaşılmasına yetmemiş ve bu nedenle kendisinden sonra esere şerhler yazılmıştır. Eser üzerine yazılan ve günümüze ulaşan en kapsamlı şerh İdris Bitlisî'nin babası Hüsameddin Ali Bitlisî'ye aittir. Şerhu Istılahâtı's-sufiyye adını taşıyan eserde bazı kavramlar şerh edilmemiş olsa da mevcut şerhler arasında en tam olandır. Istılahâtu's-sûfiyye kendisinden sonra özellikle kavramlarla ilgili kaleme alınan eserlere kaynaklık etmiştir. Örneğin Cürcânî'nin Ta'rifât'ı Tahnevî'nin Keşşâfu Istılahât'ı Naşbebî'nin Silkü's-sülûk'u ve Gümüşhanevî'nin Câmi'ul'-usûl'ünde yer alan tasavvufî kavramlarda Istılahâtu's-sûfiyye'nin etkisini görmek mümkündür.
Istılahâtu's-sûfiyye'nin Arapça dizgi ve tercümesinde farklı tarihlerde gerçekleştirilen tahkikli basımlar kullanmakla birlikte müellifin vefatından bir yıl sonra istinsah edilen Süleymaniye Kütüphanesi Halet Efendi 297 numaradaki nüsha ile Ayasofya 2088 ve Millet Kütüphanesi Feyzullah Efendi 1259 numaralı nüshaları da dikkate alınarak doğru bir metin oluşturmaya çalışmıştır.